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產品名稱: 美國派克PARKER隔膜減壓調壓閥
產品時間: 2020-08-25
產品型號: 735W
產品特點: 美國派克PARKER隔膜減壓調壓閥:二級減壓調壓閥,為高壓超高純度(UHP)應用而設計。該系列產品擁有優異的穩定性并降低供給壓力作用的影響 - 不管入口壓力如何波動,出口壓力保持穩定。

美國派克PARKER隔膜減壓調壓閥 的詳細介紹

美國派克PARKER隔膜減壓調壓閥簡介:

派克Veriflo部門的735W和NPR735W(亞大氣壓)系列閥門,是為高壓氣體分配系統而設計,特別是用于超高純度(UHP)半導體制造操作系統。 該系列產品適用于惰性和腐蝕性氣體,具有二級隔膜設計,可大限度地減少供給壓力的影響; 因此,無論入口壓力如何波動,都能提供穩定的出口壓力。

 
735W系列調壓閥具有*的壓縮構件,其在潤濕區域無螺紋,從而提高泄漏完整性,并減少顆粒的產生和截留的風險。此種調壓閥配有100級潔凈室,由Veriflo專有的Vericlean™ 316L不銹鋼制成,并帶有PCTFE(聚三氟氯乙烯)或者 Vespel®(聚酰亞胺)閥座。這些材料,標準的全內部電拋光和哈氏合金C-22® 隔膜和提升閥相結合在一起,使調壓閥入口壓力高達3,500 psig時都能保有其的耐腐蝕性和清潔度。閥座還具有自定位設計,可做重復有效關閉,穩定的密封性,以及J確
的壓力調節。它通過集成的過濾網保護其不受上游氣缸帶來的污染。

 
735W系列調壓閥,當閥座出現泄漏時,閥門關閉以阻隔帶有腐蝕性或有害氣體泄漏,并且通過消除下游潛在的聚積高壓而提高安全性。調壓閥內部(閥座)密封件和密封外的金屬部件均通過質譜儀進行內外部氦氣泄露檢測,以確保在苛刻的要求清潔度的UHP應用中,保有其性能和可靠性。 

美國派克PARKER隔膜減壓調壓閥描述:

市場:
• 半導體
• 分析實驗室
• 制藥
• 生物制藥
• 航空航天
• 工業

特點和優勢:
• *的壓縮構件無需螺紋穿孔將密封與本體連接在一起
• 高循環使用壽命(包括耐腐蝕性)
• 內部彈簧設計小化顆粒的產生和氣體截留
• 金屬對金屬隔膜到閥體的密封確保高泄漏完整性
• 內部泄漏率: <2 x 10-9 scc/sec He (額定)
• 外部泄漏率: <2 x 10-10 scc/sec He
• 全壓力范圍使用:從真空到3,500 psig (NPR735W可用于亞大氣壓的壓力控制)
• Cv 0.04
• 標準的全內部電拋光

應用:

• 腐蝕性氣體和特種氣體
• 半導體工具
• 工具連接
• 燃氣柜
• 閥組箱(VMB)
• 上游工藝管線

 

 

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